Cambridge University Press에 등재된 엑스레이 비파괴 검사방법에 대해 소개드립니다.

비파괴검사로써 엑스레이의 최근 트렌드 중 하나로 XRM (X-Ray Microscopy) 은 High Penetrating Power 를 확보하여 high resolution 을 얻을 수 있도록 발전하고 있고, 가속기 뿐만 아니라 Lab setting 에서도 확장 적용되고 있으며, Nano XRM 의 경우10s ~100s nanometer 의 spatial resolution 을 확보할 수 있습니다.

(Figure 1. Nano-XRM 을 이용한 리튬이온 배터리 NCM Cathode 투과 이미징)

상기와 같은 품질의 분석을 위해 분석물의 Absorption edge 보다 약간 낮은

photon enegry 범위를 사용할 필요가 있으며, 가속기, Nano-XRM​ 의 Key benefit 은

Photon energy 의 fine tuning 이 가능하다는 점이며, 이를 통해 Contrast 가 우수한 Data 를 확보할 수 있습니다. (Nano-XRM 의 경우 multiple target materials 로 Tuning 이 가능하며 2.7keV, 5.4keV, 6.4keV, 8.0keV 적용 가능함)

출처 : Cambride University Press

Energy Tunability in Laboratory 3D Nano-XRM | Microscopy and Microanalysis | Cambridge Core

비파괴 검사에 사용된 장비는 Sigray Nano-XRM입니다.

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