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<p><img alt="" height="195" src="/public/upload/img/7574a24e539debc7bfd9b86b113e1894" width="277" /></p> <p>반도체 소자 기술은 이제 3D fin-fet 및 Gate around transistor 구조가 일반화 되었습니다.</p> <p>그런데 이러한 3차원 구조에서의 수 Angtom 두께의 박막 두께와 미량의 도판트 계측은 큰 도전이 되고있습니다.</p> <p><img alt="" height="221" src="/public/upload/img/55d886cfc15c661b99a940e711eef40c" width="274" /></p> <p>Sigray AttoMap은 10um 이하의 빔 사이즈와 강한 광원의 X-ray source를 통해</p> <p>3D 반도체 소자 계측에 큰 성과를 보이고 있습니다.</p> <p> </p> <p>자세한 내용은 첨부 파일을 확인해 주세요.</p>
첨부파일
20200204_am_finfet_apps_note-2.pdf
(697.4 KB)
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