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[Apps Note] 3D Fin-fet에서의 sub-angstrom 박막 계측

작성자 세미넷 날짜 2020-12-24 15:34:59 조회수 198

반도체 소자 기술은 이제 3D fin-fet 및 Gate around transistor 구조가 일반화 되었습니다.

그런데 이러한 3차원 구조에서의 수 Angtom 두께의 박막 두께와 미량의 도판트 계측은 큰 도전이 되고있습니다.

Sigray AttoMap은 10um 이하의 빔 사이즈와 강한 광원의 X-ray source를 통해

3D 반도체 소자 계측에 큰 성과를 보이고 있습니다.

 

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