주요 특징

• 주사전자현미경 (SEM), 집속이온빔 (FIB), Small Dual Beam 장비용 active piezoelectric 제진대
• 고유의 시리얼 구조를 적용
• Hard-Mount 기술을 채용하여 SEM 장비에 내장되어 있는 제진 시스템과 동시에 사용이 가능
• 고감도, 저주파수의 속도 센서를 사용하여 뛰어난 Active 제진 성능
• 시리얼 디자인과 piezoelectric 기술을 통해 0.6 - 150 Hz의 제진 대역폭과 2 Hz에서 90% 제진 성능

Applications

SEM (주사전자현미경), TEM (투과전자현미경), FIB (집속이온빔) 등

Specifications

Active degrees of freedom	6
Active bandwidth	0.6 Hz - 100 Hz
Passive natural frequency	12 Hz nominal
Effective active resonant frequency	0.5 Hz
Isolation at 1 Hz	40% - 70%
Isolation at 2 Hz	90%
Isolation at ≥3 Hz	90-98%
Internal noise	<0.1 nm RMS
Operating load range	Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg) High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)
Magnetic field emitted at maximum 4 in. (102 mm) from the platform	<0.02 μG broadband RMS
Dimensions (WxD)	35.25 x 44.25 in. 895 x 1124 mm
Height	6.3 in. (160 mm) nominal, doesn't change when SEM-Base is switched off
Operating temperature	50° - 90° F 10° - 32° C
Storage temperature	-40° - 130° F -40° - 55° C
Humidity	< 80% @ 68° F | 20° C
System power requirements	100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE compliant
Floor displacement	<800 μin. (20 μm) below 10 Hz