주요 특징

• SEM-Base의 높이를 낮춘 버전
• SEM 장비를 들어올리지 않고, 레벨풋을 조절하여 설치 가능
• 다수의 Thermo Fischer Scientific (FEI) 장비와 호환
• Hard-Mount 기술을 채용하여 SEM 장비에 내장되어 있는 제진 시스템과 동시에 사용이 가능
• 저주파수의 속도 센서를 사용하여 뛰어난 Active 제진 성능
• 시리얼 디자인과 piezoelectric 기술을 통해 0.6 - 150 Hz의 제진 대역폭과 2 Hz에서 90% 제진 성능

Applications

호환되는 Thermo Fischer Scientific 장비의 모델명: Apreo, Aquilos, Helios 5, Nova NanoSEM x50, Prisma, Quattro S, Scios, Teneo, Verios 5, Versa 3D

Specifications

Active degrees of freedom	6
Active bandwidth	0.6 Hz - 100 Hz
Passive natural frequency	12 Hz nominal
Effective active resonant	0.5 Hz
frequency
Isolation at 1 Hz	40% - 70%
Isolation at 2 Hz	90%
Isolation at ≥3 Hz	90-98%
Internal noise	<0.1 nm RMS
Operating load range	900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)
Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the platform	<0.02 μG broadband RMS
Dimensions (WxD)	33.3 x 34.9 in. 846 x 887 mm 41 x 34.9 in. 1041 x 887 mm total with casters
Height	5.26 in. (134 mm) nominal, doesn't change when SEM-Base is switched off
Operating temperature	50° - 90° F 10° - 32° C
Storage temperature	-40° - 130° F -40° - 55° C
Humidity	< 80% @ 68° F | 20° C
System power requirements	100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 WCE compliant
Floor displacement	<800 μin. (20 μm) below 10 Hz